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中 福 世 纪 半 导 体 技 术 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 中 福 世 纪 半 导 体 技 术 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 E N 首 页 关 于 我 们 产 品 中 心 C M P 清 洗 刷 C M P 钻 石 研 磨 盘 新 闻 中 心 联 系 我 们 E N 关 于 我 们 产 品 中 心 C M P 清 洗 刷 C M P 钻 石 研 磨 盘 新 闻 中 心 联 系 我 们 钻 石 研 磨 盘 集 成 电 路 制 造 C M P 化 学 机 械 研 磨 制 程 中 的 关 键 耗 材 。 0 1 P r e v N e x t 关 于 我 们 产 品 中 心 新 闻 中 心 联 系 我 们 产 品 中 心 P R O D U C T C M P 清 洗 刷 C M P 清 洗 刷 （ C M P S p o n g e ） 是 在 化 学 机 械 抛 光 （ C M P ） 制 程 中 用 于 清 洗 的 关 键 部 件 。 C M P 技 术 旨 在 通 过 化 学 腐 蚀 与 机 械 研 磨 的 协 同 作 用 ， 实 现 晶 圆 表 面 的 超 精 密 平 坦 化 处 理 。 而 C M P 清 洗 刷 的 作 用 是 在 抛 光 完 成 后 ， 有 效 去 除 晶 圆 表 面 残 留 的 研 磨 颗 粒 、 化 学 药 剂 以 及 其 他 污 染 物 ， 防 止 这 些 杂 质 对 后 续 制 程 产 生 负 面 影 响 ， 确 保 晶 圆 表 面 的 洁 净 度 和 质 量 ， 为 芯 片 制 造 等 后 续 工 艺 提 供 良 好 的 基 础 。 查 看 详 情 C M P 钻 石 研 磨 盘 C M P 化 学 机 械 研 磨 是 集 成 电 路 制 造 过 程 中 实 现 晶 圆 全 局 均 匀 平 坦 化 的 关 键 工 艺 。 在 C M P 工 艺 中 ， 首 先 让 抛 光 液 填 充 在 抛 光 垫 的 空 隙 中 ， 晶 圆 在 研 磨 头 带 动 下 高 速 旋 转 ， 与 抛 光 垫 和 抛 光 液 中 的 分 散 颗 粒 发 生 作 用 ， 同 时 需 要 控 制 研 磨 头 下 压 力 等 其 他 参 数 。 一 方 面 ， 利 用 机 械 力 作 用 于 晶 圆 表 面 ， 另 一 方 面 ， 利 用 研 磨 液 中 的 化 学 物 质 与 晶 圆 表 面 材 料 发 生 化 学 反 应 ， 达 到 增 加 抛 光 速 率 的 目 的 。 查 看 详 情 C M P 清 洗 刷 C M P 钻 石 研 磨 盘 新 闻 中 心 N E W S 市 局 领 导 、 客 户 来 公 司 考 察 2 0 2 4 . 1 1 . 0 6 港 区 强 化 科 技 招 商 全 力 助 推 科 技 人 才 企 业 快 速 成 长 2 0 2 4 . 1 1 . 0 6 公 司 介 绍 中 福 世 纪 半 导 体 技 术 （ 苏 州 ） 有 限 公 司 是 由 半 导 体 行 业 国 内 外 资 深 专 业 人 士 于 2 0 2 4 年 2 月 成 立 的 一 家 芯 片 类 高 新 技 术 企 业 ， 位 于 美 丽 的 长 江 之 畔 苏 州 太 仓 市 港 区 开 发 区 ， 交 通 便 利 ， 成 长 于 中 国 半 导 体 产 业 最 集 中 的 长 三 角 区 域 。 关 于 我 们 O p e n 1 9 9 5 成 立 P a t e n t 2 3 0 + 专 利 c u s t o m e r 3 0 0 + 客 户 E q u i p m e n t 3 , 3 0 0 + 设 备 关 于 我 们 产 品 中 心 C M P 清 洗 刷 C M P 钻 石 研 磨 盘 新 闻 中 心 联 系 我 们 C o p y r i g h t © 中 福 世 纪 半 导 体 技 术 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 版 权 所 有 备 案 号 ： 苏 I C P 备 2 0 2 4 1 4 1 9 2 5 号 1 网 站 维 护 隐 私 政 策 | 法 律 声 明 t o p

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